洁净室压差检测

洁净室压差检测的目的是为了验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于空态、静态、动态的洁净室的占用状态，工程完工后需要定期进行压差检测。

在对洁净室进行压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回、排风量是否与规定风量相符。在此前提下，再逐一测定封闭的洁净室和周围附属环境之间、周围附属环境与外部环境间的压差。

洁净室的正压是靠送风Qs与回风Qr和排风Qe的差值实现的。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

检测要求（1）静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。 （2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。 （3）测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。 （4）所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

2、检测步骤：（1）先关闭所有的门。 （2）用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。 （3）记录所有数据。 3、合格标准按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。 （1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。 （2）洁净室（区）与室外的静压差，不应小于 10Pa。 （3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。 （4）若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。 

正压值越高，缝隙或孔口的合计面积越大，则泄漏风量也越多。过多的无效泄漏风量将增大受控环境的能耗，因此应关注其气密性，在维持必要压差条件下减低其泄漏风量。

不同级别洁净室逐级之间为5～10Pa.与非洁净区之间的压差一般为10～15Pa.

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