空气中悬浮粒子最大浓度限值 Cn/Cn’ 的数学表达式

■ “粒子” 定义：

 （1）有明确物理边界的微小物质。

 （2）阈值（低限）粒径为0.1 µm ~ 5 µm的固体或液体物质；按大于等于某阈值（低限）粒径的粒

           子总数，判定空气洁净度等级。当量直径小于0.1 µm 的粒子称为超微粒子，描述符为U；当

           量直径大于5 µm 的粒子称为大粒子，描述符为M。

■ ISO 14644-1  洁净室及相关受控环境  第1部分：空气洁净度分级

   Cleanrooms and associated controlled environments —  Part 1: Classification of air cleanliness

                                                     N ——   等级序号（1级~9级）；

                                                     D ——   控制粒径（0.1 µm，0.2 µm，0.3 µm，0.5 µm，1.0 µm，5 µm）

                                                            Cn——  允许粒子浓度（个/立方米）

■ 美国联邦标准FS 209 “洁净室与工作站的需求及受控环境”

   Federal Standard 209 “ Cleanroom and Work Station Requirements, Controlled Environments”

                                                  N’   ——  等级（1级，10级，100级，千级，万级，十万级）;

                                                           D    ——   控制粒径 （0.1 µm，0.2 µm，0.3 µm，0.5 µm，5 µm）;

                                                           Cn’ —— 允许粒子浓度（个/立方英尺）

   换算：

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