洁净室内出现大粒子问题

洁净室在验收时出现大粒子的问题，有哪些因素造成的，我们应该怎么办？

1由于净化施工的周围环境十分恶劣。

a．施工前在地下室空间建立了一个100级的设备材料库房，其面积大约100m²把洁净室用的设备，配件和材料等存在100级的净化环境中保证进入洁净室的设备和材料的洁净度。

b．工人员要严格规范施工.质检人员和监理要经常监督检查

c．试时维持室内较大正压，调试人员要按规定更两次衣，两次吹淋方能进入

d．由于进度要求没有空态测试验收的时间（合同是空态验收），工艺设备就要进入洁净室进行二次配管配线和调试（进口设备），工艺设备的调试和二次配管配线又一次影响了洁净室内的洁净度，尤其是甲方坚持要提前安装并满布FFU；当时施工单位和我们主张，等最后清扫空吹后再装FFU。因为新风送进时已经达到100级的洁净度，能满足工艺设备调试的环境要求。但最终还是将FFU过早的装上了。这样就出现洁净厂房动态调试时0.1μm粒子合格.0.5 μm粒子为0个/ft³，而1 μm和5 μm的大粒子随机地不断出现。为此调试时间延长了一个多月来找大粒子产生的原因。

 因过早地安装FFU，为了省电，工艺设备调试时FFU部分开启，因上技术夹层为负压，就造成室内的空气通过不开启的FFU倒流到上夹层,部分灰尘 就沉积在超高过滤器的表面；调试时这样大 粒子会随机落下。

 洁净厂房内的通讯喇叭的纸盆不是洁净厂房专用，一振动也产生大量大粒子。

 工艺设备的配套件不是洁净厂房专用的设备。有些还带风机也会产生大量的大粒子。找到原因后采取必要的措施最后测试合格达标。

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