过滤系统检漏方法

　　 高效过滤器、超高效过滤器，其过滤核心无一例外地都采用超细玻璃纤维滤纸折叠而成。超细玻璃纤维滤纸本身相当脆弱、易受损伤。此外，在滤纸芯与过滤器成型框架间的密封也是结合强度较差的部位，在运输、安装过程中的过大震动和碰撞很可能造成裂隙。出厂合格的过滤器可能因运输、安装受损而泄漏未经过滤的空气，从而降低空气过滤器的效率，以至影响洁净室的洁净度。已装过滤系统检漏的目的是确认过滤系统安装正确，使用过程中无渗漏发生。此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏。检测中，在过滤器的上风向注入气溶胶，在下风向紧靠过滤器和安装框架的地方扫描，已装过滤系统的检漏只在“空态”或“静态”下进行，且该项检漏是在新建洁净室调试时，或现有设施需要再检测时，或更换了末端过滤器之后进行。

1、过滤器的滤材。

2、过滤器的滤材与其框架内部的连接。

3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间。

4、支撑框架和墙壁或顶棚之间。

5、据数据统计工程安装引起的质量问题占50%

值得注意的是，正常穿透高效空气过滤器的粒子，粒径一般是0.5μm,0.3μm或更小，而经缝隙泄漏的粒子，则往往和高效空气过滤器上风向的空气中的颗粒物的粒径分布相同，即含有1μm、2μm、5μm甚至更大的粒子。检漏时除发现异常的粒子数量外，所测得粒子的粒径分布也是判断是否存在泄漏的重要方面。